空氣軸承定位平臺
針對先端半導體與面板制程設備所開發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業(yè)采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術,可于千分之一秒內達到奈米誤差內要求,大幅減少運動整定時間與組件磨耗率,提升設備生產力與可靠性。完整智能化遠程系統(tǒng)偵測與全球客服支持提供,幫助客戶大幅縮短設備開發(fā)時程,節(jié)省許多整合時間與成本,使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。
空氣軸承
非接觸式空氣軸承LMAS
非接觸式空氣軸承提供更佳的定位精度
嵌入式磁性預壓設計,提升穩(wěn)定性
提供極平滑的運動與快速的整定時間
無鐵芯式線性馬達,無磁頓力
高解析回饋搭配線性光學編碼器
提供高繞性的纜線管理
適用于潔淨室 ,無需潤滑好保養(yǎng)
低速度漣波
應用于精密定位、校驗系統(tǒng)、掃描應用、晶圓檢測、無塵環(huán)境


LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺

LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺

