HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)
特征
●條碼、標簽及字元辨識,
完整追蹤生產(chǎn)歷程。提供即時影像監(jiān)控
●高效凈化及靜電消除等微環(huán)境控制,
確保傳送過程中不受污染。
●自動壓力控制系統(tǒng)可以通過環(huán)境壓力變化,
調節(jié)風扇轉速以保持設定值。
●提供客制化晶圓或其它基板搬運需求。
- 基本信息
- 規(guī)格尺寸
- 配置/性能參數(shù)
產(chǎn)品列表
特征
HIWIN晶圓移載系統(tǒng)(EFEM)是完整的自動化系統(tǒng),HIWIN透過垂直整合,搭配自行研發(fā)之控制系統(tǒng),能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在席感測等周邊配件進行規(guī)劃,并依產(chǎn)品規(guī)格搭配對應款式之晶圓機器人,有效針對不同制程及應用的客戶,提供客制化的服務,使客戶的設備和制程更有效率及競爭力。HIWIN多樣的產(chǎn)品種類進行垂直整合,搭配自行研發(fā)之系統(tǒng)控制,對應客戶不同需求并應用于制程中??蛇x配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊,并依照產(chǎn)品規(guī)格進行系統(tǒng)規(guī)劃。
HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)
特征
- 8" , 12" 標準機型
- 盤面式電控箱設計
- 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
- 符合RoHS規(guī)范,潔凈度最高可達ISO Class 1
- 多種感測器偵測各項元件,即時監(jiān)測設備狀態(tài)
- 即時影像監(jiān)控,條碼、標簽字元辨識,完整追蹤生產(chǎn)過程
- 提供客制化晶圓或其他基板搬運需求
