HIWIN EFEM340-D08 晶圓移載系統(tǒng)
特征
●高速長(zhǎng)行程12”標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型
●光柵設(shè)計(jì)提升安全性,智慧廠(chǎng)房最佳選擇
●符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全規(guī)范
●符合RoHS規(guī)范,潔凈度最高可達(dá)ISO Class 1
●多種感測(cè)器偵測(cè)各項(xiàng)元件,即時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)
●GUI介面軟體,可遠(yuǎn)端操作指令,
整合各裝置子系統(tǒng),提供單一指令格式窗口
- 基本信息
- 規(guī)格尺寸
- 配置/性能參數(shù)
產(chǎn)品列表
HIWIN晶圓移載系統(tǒng)(EFEM)是完整的自動(dòng)化系統(tǒng),HIWIN透過(guò)垂直整合,搭配自行研發(fā)之控制系統(tǒng),能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應(yīng)、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點(diǎn)在席感測(cè)等周邊配件進(jìn)行規(guī)劃,并依產(chǎn)品規(guī)格搭配對(duì)應(yīng)款式之晶圓機(jī)器人,有效針對(duì)不同制程及應(yīng)用的客戶(hù),提供客制化的服務(wù),使客戶(hù)的設(shè)備和制程更有效率及競(jìng)爭(zhēng)力。 HIWIN多樣的產(chǎn)品種類(lèi)進(jìn)行垂直整合,搭配自行研發(fā)之系統(tǒng)控制,對(duì)應(yīng)客戶(hù)不同需求并應(yīng)用于制程中??蛇x配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊,并依照產(chǎn)品規(guī)格進(jìn)行系統(tǒng)規(guī)劃。
HIWIN EFEM340-D08 晶圓移載系統(tǒng)
特征
- 高速長(zhǎng)行程12”標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型
- 光柵設(shè)計(jì)提升安全性,智慧廠(chǎng)房最佳選擇
- 符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全規(guī)范
- 符合RoHS規(guī)范,潔凈度最高可達(dá)ISO Class 1
- 多種感測(cè)器偵測(cè)各項(xiàng)元件,即時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)
- GUI介面軟體,可遠(yuǎn)端操作指令,整合各裝置子系統(tǒng),提供單一指令格式窗口